無(wú)塵車(chē)間可分為以下幾個(gè)等級:
1. 一級無(wú)塵車(chē)間主要適用于微電子行業(yè)制造集成電路,對集成電路的精確需求為亞微米級。
2.十級潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導體行業(yè)。
3.百級潔凈室一般用于制藥行業(yè)的無(wú)菌制造工藝,如外科手術(shù),包括移植,集成器的生產(chǎn),以及對細菌感染敏感的患者的隔離和治療,如骨髓移植后患者的隔離和治療。
4. 千級潔凈室主要用于高品質(zhì)光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),以及用于安裝測試、安裝飛機螺桿、安裝高品質(zhì)微型軸承等。
5. 萬(wàn)級無(wú)塵室主要用于液壓設備或氣動(dòng)設備的安裝,也可用于食品飲料行業(yè)。此外,10000級無(wú)塵車(chē)間也常用于醫療行業(yè)。
6. 十萬(wàn)級無(wú)塵室多用于工業(yè)部門(mén),如光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)、小型部件的生產(chǎn)、大型電子系統的生產(chǎn)、液壓或氣動(dòng)系統的生產(chǎn)、食品和飲料的生產(chǎn),制藥行業(yè)也經(jīng)常使用這類(lèi)無(wú)塵室。
基于其范圍內懸浮在空氣中的顆粒數量的空氣清潔度等級。千級和千級潔凈室表明,每立方米空氣中直徑大于或等于0.5微米的灰塵顆粒數量小于1000或10000。也就是說(shuō),一百、一千和一萬(wàn)是根據空氣中懸浮顆粒的濃度來(lái)劃分的。一般來(lái)說(shuō),清潔度等級值越小,凈化等級越高。